直線電機(jī)精度測(cè)量注意要點(diǎn)

直線電機(jī)精度測(cè)量需要注意的幾點(diǎn)簡(jiǎn)述。
   注：所有測(cè)量條件要求安裝基座平面度小于10微米
   1 直線電機(jī)精度測(cè)量使用激光干涉儀與大理石平臺(tái)

2 重復(fù)定位精度定義
確定原點(diǎn)后，正反方向往返7次，測(cè)量得到的與原點(diǎn)的******偏差的±1/2 做為直線電機(jī)的重復(fù)定位精度。
標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)直線電機(jī)重復(fù)定位精度為±1微米
高精度直線電機(jī)重復(fù)定位精度±0.5微米

3 絕對(duì)定位精度
絕對(duì)定位精度是直線電機(jī)全行程的設(shè)定目標(biāo)與實(shí)際測(cè)量之間的******偏差

隨著控制系統(tǒng)的不斷進(jìn)步，定位精度可用多點(diǎn)補(bǔ)償方式縮小偏差。
  
  

4 單軸直線電機(jī)測(cè)量指標(biāo)
 

絕對(duì)精度：位置的定位位置差距；水平真值度：電機(jī)左右偏差；垂直真直度：電機(jī)上下偏差；
Pitching：電機(jī)移動(dòng)時(shí)前后方向的角度； Yawing:電機(jī)移動(dòng)時(shí)左右方向角度；
Rolling：電機(jī)移動(dòng)時(shí)角度回轉(zhuǎn)。
5 測(cè)量方法
 

 

 

6 直線電機(jī)平臺(tái)的精度
垂直度
 

直線度
測(cè)量方法如下：如果直線電機(jī)平臺(tái)安裝基座平面度不好的話，測(cè)量得到的直線度數(shù)據(jù)會(huì)比較差。會(huì)引起ABBE誤差（由于安裝底座平面度不好引起的絕對(duì)精度不好）。
 

安裝機(jī)械平面度
X-Y-theta平臺(tái)安裝機(jī)械平面度
 

運(yùn)行平面度
X-Y-THETA平臺(tái)運(yùn)行平面度