龍門式XY平面氣浮平臺(tái)

• 高動(dòng)態(tài)性能
• 雙驅(qū)軸、橫梁軸均采用氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)
• XY行程靈活配置，根據(jù)要求訂制行程
• 單軸直線度高，平面度高
• ******速度3m/s，******加速度3g
• 重復(fù)定位精度±0.2um，定位精度±1um
• 選用高分辨率絕對(duì)式光柵尺，并配置ACS控制驅(qū)動(dòng)器模塊，可提供優(yōu)異的伺服性能、先進(jìn)控制算法，從而提高動(dòng)態(tài)性能和誤差補(bǔ)償，并改善一整套軟件開(kāi)發(fā)工具。

具體信息根據(jù)客戶要求訂制為準(zhǔn)